INFICON LDS3000 Modular Leak Detector Benutzerhandbuch
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Wartung
Neuen Betriebsmittelspeicher einsetzen
Der neue Betriebsmittelspeicher wird durch das Eindrehen des Verschlussdeckels
korrekt positioniert:
1
Neuen Betriebsmittelspeicher nicht komplett, sondern nur bis zum O-Ring in die
Pumpe schieben.
2
Verschlussdeckel mit Stirnlochschlüssel einschrauben.
3
Neuen O-Ring einlegen.
4
Verschlussdeckel einschrauben (Anzugsdrehmoment 13 Nm +/-10%).
5
Belüftungsschraube handfest anziehen.
6
Turbomolekularpumpe einbauen.
7
Massenspektrometer-Modul in Betrieb nehmen.
Wartungsarbeit bestätigen
Bedieneinheit installiert
Berechtigung = Integrator
► Wartungsarbeit in Bedieneinheit bestätigen:
B
ERECHTIGUNG
> I
NTEGRATOR
> W
ARTUNG
> W
ARTUNGSARBEIT
Sachschäden durch falsch montierten O-Ring
Ein falsch montierter O-Ring kann Undichtigkeiten verursachen. Das Gerät hat
Fehlfunktionen und wird beschädigt.
► O-Ring sorgfältig einlegen.