Msb-box, 1 msb-box – INFICON LDS3000 Modular Leak Detector Benutzerhandbuch
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Beschreibung
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2- Turbomolekularpumpe
Turbomolekularpumpe mit Kühleinheit
3 - Vorverstärker
Vorverstärker des Massenspektrometer-Moduls
4 - MSB-Box
Schnittstellen des Massenspektrometer-Moduls (siehe
5 - Wandler Turbomolekularpumpe
Elektronische Steuerung der Turbomolekularpumpe
6 - Typenschild
Typenschild mit Kenndaten des Massenspektrometer-Moduls
7 - Befestigungselemente
Befestigungselemente zur Montage des Massenspektrometer-Moduls in einer
Prüfanlage
8 - PIRANI-Druckmessstelle
PIRANI-Druckmessstelle zur Messung des Drucks der Vorvakuumpumpe
4.1.1
MSB-Box
1 - OUTPUT
Anschluss für Gasballast und drei Ventile (nicht verwendet, Reserve)
Steckerbelegung
Abb. 3
Anschlüsse MSB-Box
1
Ventil 2 (Gasballast), 24 V, max. 1 A
2
Ventil 3 (nicht verwendet)
3
Ventil 4 (nicht verwendet)
4
Ventil 6 (nicht verwendet)
5
GND