11 messgas wählen, 12 vorvakuumpumpe von prüfgas dekontaminieren, 13 einheiten für leckrate wählen – INFICON LDS3000 Modular Leak Detector Benutzerhandbuch
Seite 35: 14 einheiten für druck wählen
Betrieb
35
6.11
Messgas wählen
Das Massenspektrometer-Modul kann folgende Gase messen:
• Wasserstoff (H
2
)
• Masse 3 (H-D,
3
He oder H
3
)
• Helium (
4
He)
► Gewünschte Masse wählen:
E
INSTELLUNGEN
> M
ASSE
> M
ASSE
Maschinen-, Kalibrier- und Schnüffelfaktor sind von der eingestellten Masse
abhängig und sind im Massenspektrometer-Modul gespeichert.
6.12
Vorvakuumpumpe von Prüfgas dekontaminieren
Das Massenspektrometer-Modul kann über den Anschluss O
UTPUT
ein elektrisches
24-V-Gasballastventil der Vorvakuumpumpe steuern.
► Gasballastventil über digitale Ausgänge steuern.
6.13
Einheiten für Leckrate wählen
Für Bedieneinheit:
► Gewünschte Einheit der Leckrate im Vakuumbetrieb wählen:
A
NZEIGEEINSTELLUNG
> E
INHEITEN
(A
NZEIGE
) > L
ECKRATENEINHEIT
V
AC
► Gewünschte Einheit der Leckrate im Schnüffelbetrieb wählen:
A
NZEIGEEINSTELLUNG
> E
INHEITEN
(A
NZEIGE
) > L
ECKRATENEINHEIT
S
NIFF
Für I/O- oder Bus-Modul:
► Gewünschte Einheit der Leckrate im Vakuumbetrieb wählen:
E
INSTELLUNGEN
> E
INRICHTEN
> S
CHNITTSTELLEN
> E
INHEITEN
(S
CHNITTSTELLE
) >
L
ECKRATENEINHEIT
V
AC
► Gewünschte Einheit der Leckrate im Schnüffelbetrieb wählen:
E
INSTELLUNGEN
> E
INRICHTEN
> S
CHNITTSTELLEN
> E
INHEITEN
(S
CHNITTSTELLE
) >
L
ECKRATENEINHEIT
S
NIFF
6.14
Einheiten für Druck wählen
Für Bedieneinheit:
► Gewünschte Einheit für den Druck wählen:
A
NZEIGEEINSTELLUNG
> E
INHEITEN
(A
NZEIGE
) > D
RUCKEINHEIT
Für I/O- oder Bus-Modul:
► Gewünschte Einheit für den Druck wählen:
E
INSTELLUNGEN
> E
INRICHTEN
> S
CHNITTSTELLEN
> E
INHEITEN
(S
CHNITTSTELLE
) >
D
RUCKEINHEIT