Bronkhorst Mass Flow - Handbuch (Seite 11)

BRONKHORST HIGH-TECH B.V.
1.5.3 Pilotgesteuertes Ventil
Das pilotgesteuerte Ventil wurde für hohe Durchflußraten
konstruiert. Ein magnetgesteuertes Regelventil regelt die
Druckdifferenz über einen Steuerkolben, wodurch der
Hauptkolben bewegt wird.
1.5.4 Balgventil
Dieser Ventiltyp ist ein direkt mit Magnetspule betriebenes Regelventil mit geringem Energiebedarf.
Eine spezielle Konstruktion mit einem Metallbalg ermöglicht die Regelung bei relativ großem
Ventilquerschnitt. Das Modell ist geeignet für niedrige Drücke oder Vakuumanwendungen.
Bronkhorst High-Tech empfiehlt ausdrücklich, das Balgenventil in einer aufrechten Position zu montieren.
1.6 Sensoren und laminare Flowelemente
Flowelemente werden verwendet, um den Meßbereich eines Gasflußmessers oder -reglers zu bestimmen.
Flüssigkeitssensoren und Drucksensoren benötigen kein Flowelement.
Je nach Anwendung haben die Durchflußsensoren verschiedene austauschbare Kapillaren,
die unterschiedliche laminare Flowelemente erforderlich machen.
Außerdem wird für Durchflußraten über 1250 ln/min das laminare Flowelement
mit einer Kapillar-Kombination verbunden, um die Strömungsturbulenz auszugleichen.
Im allgemeinen sind 3 Typen von Kapillarrohren vorgesehen:
- kleine Bohrung (C-Typ)
Zu diesem Sensortyp ist folgendes zu bemerken:
- Sie haben einen Druckabfall von ca. 35 mbar
- Das laminare Flowelement besteht aus einer Reihe von Scheiben mit präzise geätzten
Durchflußkanälen. Jeder Durchflußkanal entspricht einer Luftströmung von ca. 10 mln/min bei
einem DeltaP von 35 mbar.
- Bei COMBI-FLOW-Anwendungen und bei allen Geräten mit einer Druckrate über 100 bar (M-Typ)
ist der Sensor mit Metalldichtungen versehen.
- Im allgemeinen können Geräte mit diesen Sensoren bei niedrigen Betriebsdrücken horizontal oder
vertikal montiert werden. Bei höheren Drücken (>10 bar) sollte das Gerät in horizontaler Lage
montiert werden (COMBI-FLOW vertikal).
- Große Bohrung (D-Typ)
Zu diesem Sensortyp ist folgendes zu bemerken:
- Sie werden vorzugsweise für reaktive Gase und bei niedrigen Drücken verwendet.
- Der Druckverlust ist kleiner 0,5 mbar.
- Das laminare Flußelement bildet zusammen mit dem Hauptkanal einen ringförmigen Querschnitt.
Die Maße dieses Ringkanals bestimmen den Meßbereich des Gerätes.
- Das Gerät muß immer in horizontaler Lage montiert werden.
- Medium Durchmesser (E-Typ)
Dieser Sensortyp wird verwendet im “EL-FLOW Serien“ um der Durchfluss (des “low DeltaP serien“) zu
erhöhen. Da gelten dieselbe Bemerkungen wie die D-Typ Sensor, nur:
- Der Druckverlust ist ca. 2,5 mbar.
P1
P2
pilot valve pressure
compensating
valve
flow control valve
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