1einleitung, 2installation – Bronkhorst Mass Flow Benutzerhandbuch
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BRONKHORST HIGH-TECH B.V.
INHALTSVERZEICHNIS
1
Einleitung
1.1
Allgemeine Beschreibung ...........................................................................................................Seite 7
1.1.1 Gasmessung ...............................................................................................................................Seite 7
1.1.2 Flüssigkeitsmessung ..................................................................................................................Seite 7
1.1.3 Druckmessung ............................................................................................................................Seite 7
1.2
Gehäuse .....................................................................................................................................Seite 7
1.2.1 EL-FLOW, EL-PRESS (europäischer Standard) ........................................................................Seite 7
1.2.2 Meß- und Regelgerät für Flüssigkeiten ......................................................................................Seite 7
1.3
Ventile .........................................................................................................................................Seite 8
1.3.1 Labormodell ................................................................................................................................Seite 8
1.3.2 Industrieausführung ....................................................................................................................Seite 8
1.4
Grundsätzliches über Sensoren ..................................................................................................Seite 8
1.4.1 Gasflußsensoren .........................................................................................................................Seite 8
1.4.2 Flüssigkeitssensoren ..................................................................................................................Seite 8
1.4.3 Drucksensor ................................................................................................................................Seite 9
1.5
Grundsätzliches über Ventile ......................................................................................................Seite 9
1.5.1 Magnetventil ................................................................................................................................Seite 9
1.5.2 Vary-P-Ventil ...............................................................................................................................Seite 9
1.5.3 Pilotgesteuertes Ventil ................................................................................................................Seite 10
1.5.4 Balgventil .....................................................................................................................................Seite 10
1.6
Sensoren und Laminare Flowelemente ......................................................................................Seite 10
1.7
Elektronik ....................................................................................................................................Seite 11
1.8
Konversionsfaktoren ...................................................................................................................Seite 12
1.8.1 Gaskonversionsfaktoren .............................................................................................................Seite 12
1.8.2 Konversionsfaktoren für Flüssigkeiten ........................................................................................Seite 14
1.8.3 Software für die Errechnung des Konversionsfaktors .................................................................Seite 14
2
Installation
2.1
Eingang der Sendung .................................................................................................................Seite 15
2.2
Rücksendung ..............................................................................................................................Seite 15
2.3
Service ........................................................................................................................................Seite 15
2.4
Installation ...................................................................................................................................Seite 15
2.5
In-Line-Filter ................................................................................................................................Seite 16
2.6
Fluidanschlüsse ..........................................................................................................................Seite 16
2.7
Verrohrung ..................................................................................................................................Seite 16
2.8
Elektrische Anschlüsse ...............................................................................................................Seite 17
2.9
Vorsichtsmaßnahmen .................................................................................................................Seite 17
2.10
Versorgungsdruck .......................................................................................................................Seite 17
2.11
Reinigung des Systems ..............................................................................................................Seite 17
2.12
Dichtungen ..................................................................................................................................Seite 17
2.13
Lagerung der Geräte ...................................................................................................................Seite 17
2.14
Elektromagnetische Verträglichkeit ............................................................................................Seite 18
2.14.1 Bedingungen für die Erfüllung von EMC-Anforderungen ............................................................Seite 18