Bronkhorst Mass Flow Benutzerhandbuch
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BRONKHORST HIGH-TECH B.V.
Die ungefähre Genauigkeit der aufgeführten Konversionsfaktoren ist:
typisch für Konversionsfaktoren;
>1 2% x Faktor
<1 2 % / Faktor
Da jedoch die Genauigkeit des Faktors auch von Viskosität, Druck und Temperatur abhängt, sollte den
Gasen im kritischen Bereich, wo spezifische Wärme, Dichte und Viskosität erheblich abweichen können,
besondere Aufmerksamkeit zukommen.
Für Gasmischungen ist die folgende vereinfachte Formel anwendbar:
1
1
1
2
2
C
V
C
V
C
mix
=
+
+
.....
V
C
n
n
C
mix
= Konversionsfaktor für Gasmischungen
C
n
= Konversionsfaktor für Gas n
V
n
= volumetrischer Anteil des Gases n in der Mischung
Beispiel Gasmischung enthält:
(1) 10 % N
2
C1 = 1,00
(2) 30 % Ar
C2 = 1,40
(3) 50 % CH
4
C3 = 0,76
(4) 10 % He
C4 = 1,41
1
010
100
0 30
140
0 50
0 76
010
141
1043
C
mix
=
+
+
+
=
,
,
,
,
,
,
,
,
,
C
mix
= 0,959
Wenn das Meßgerät auf 500 ml
n
/min N
2
kalibriert wurde, bedeutet 100 %:
500
00
,1
959
,
0
⋅
= 480 ml
n
/min Mischung.
Wenn das Meßgerät auf 500 ml
n
/min Argon kalibriert wurde, bedeutet 100 %:
500
40
,1
959
,
0
⋅
= 343 ml
n
/min Gasmischung.
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