3betrieb, 4wartung, 5 fehlersuche – Bronkhorst Mass Flow Benutzerhandbuch
Seite 7: Anhang
BRONKHORST HIGH-TECH B.V.
3
Betrieb
3.1
Allgemein ....................................................................................................................................Seite 20
3.2
Einschalten und Aufwärmen .......................................................................................................Seite 20
3.3
0 Punkt-Kontrolle und Einstellung ...............................................................................................Seite 20
3.4
Anfahren .....................................................................................................................................Seite 20
3.5
Betriebsbedingungen ..................................................................................................................Seite 20
3.6
Zeitverhalten ...............................................................................................................................Seite 21
3.6.1 Sensoren .....................................................................................................................................Seite 21
3.6.2 Regler..........................................................................................................................................Seite 21
4
Wartung
4.1
Allgemeines ................................................................................................................................Seite 22
4.2
Gasflußsensoren .........................................................................................................................Seite 22
4.3
Flüssigkeitssensoren ..................................................................................................................Seite 22
4.4
Drucksensor ................................................................................................................................Seite 22
4.5
Regler..........................................................................................................................................Seite 22
4.6
Regelventile ................................................................................................................................Seite 22
4.6.1 Magnetventile ..............................................................................................................................Seite 22
4.6.2 Vary-P-Ventile .............................................................................................................................Seite 23
4.6.3 Pilotgesteuertes Ventile ..............................................................................................................Seite 23
4.6.4 Balgventil .....................................................................................................................................Seite 23
4.7
Berechnung des K
v
-Wertes ........................................................................................................Seite 24
4.7.1 Für Gase .....................................................................................................................................Seite 24
4.7.2 Für Flüssigkeiten .........................................................................................................................Seite 24
4.8
Maximaler Druckabfall ................................................................................................................Seite 25
4.9
Kalibriervorgang ..........................................................................................................................Seite 26
5
Fehlersuche
5.1
Allgemeines ................................................................................................................................Seite 27
5.2
Fehlersuchtabelle ........................................................................................................................Seite 27
Anhang
1
Gaskonversionstabelle
2
Anlagen (falls verwendbar)