INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 157)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
R12. . . . . Dicke nullen. Simuliert Digitaleingang oder ZERO Taste auf der
Frontplatte.
R13. . . . . Enddicke- löst Depositende aus. Simuliert Digitaleingang.
R14. . . . . Quarzwechsel. Äquivalent zu betätigen der XTSW Taste auf der
Frontplatte.
R15. . . . . nur XTC/3S. Betreten des Kommunikation I/O Modus — siehe R16 (Trifft
nur zu wenn in Kommunikation I/O Modus)
R16. . . . . nur XTC/3S. Kommunikation I/O Modus verlassen— siehe R15 (Trifft
nur zu wenn in Kommunikation I/O Modus)
R17. . . . . Relais xx setzen (schließen) (xx = 1-12) (Gültig auch in XTC/3M wenn
dieser Ausgang für "Computer Contl - Rechnersteuerung" Typ gewählt
war)
R18. . . . . Relais xx löschen (öffnen) (xx = 1-12) (Gültig auch in XTC/3M wenn
dieser Ausgang für "Computer Contl - Rechnersteuerung" Typ gewählt
war)
R19. . . . . LCD Beleuchtung Ein
R20. . . . . LCD Beleuchtung Aus
R21. . . . . Piepser auslösen
R22. . . . . Fehlerflagge löschen
R23. . . . . Nicht unterstützt
R24. . . . . Nicht unterstützt
R25. . . . . Obere Frequenzgrenze auf 6.027 MHz setzen. (Dieser Befehl wird
angenommen aber nicht ausgeführt da die Standard obere
Frequenzgrenze im XTC3 über 6.027 MHz liegt.)
Die folgenden zusätzlichen Befehle waren nur im XTC/C vorhanden:
R30. . . . . Test EIN
R31. . . . . Test AUS
R32. . . . . Regelmodus Deposit
R33. . . . . Regelmodus Ätzen
R34. . . . . Stop auf Alarme
R35. . . . . Kein Stop auf Alarme
R36. . . . . Stop wenn Max Leistung
R37. . . . . Kein Stop wenn Max Leistung
R38 x . . . Schreibertyp x (0 = Rate 0 bis 100 Å/s,