INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 191)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
6.5.3 Einschränkung der Emulator Verwendung
Der Quarz Sensor Emulator kann verwendet werden um das Messsystem für
INFICON Dünnschichtregelgeräte und Monitor zu prüfen.
Der Quarzhalteranschluss am Quarz Sensor Emulator ist kompatibel mit einigen
Sensorköpfen, jedoch inkompatibel mit anderen. Die Details dazu sind in den
folgenden Abschnitten beschrieben.
6.5.3.1 Kompatible Sensorköpfe
Der Quarzhalteranschluss passt zu den Sensorköpfen in Tabelle 6-5 .
6.5.3.2 Unkompatible Sensorköpfe
Die Sensorköpfe die nicht mit dem Quarzhalteranschluss kompatibel sind, per
Tabelle 6-6 , sowie alle Cool Drawer und RSH Sensorköpfe.
HINWEIS: Der Quarzhalteranschluss des Quarz Sensor Emulator passt nicht in
die Öffnung der alten Versionen der INFICON Sensorköpfe welche
"gelötete" Fingerfederkontakte haben.
Tabelle 6-5 Kompatible Sensorköpfe
Sensorkopf Teil Nummer
Standard Sensorkopf 750-211-G1
Standard Sensorkopf mit Blende 750-211-G2
Compact Sensorkopf 750-213-G1
Compact Sensorkopf mit Blende 750-213-G2
Dual Sensorkopf 750-212-G2
Tabelle 6-6 Unkompatible Sensorköpfe
Sensorkopf Teil Nummer
UHV Ausheizbarer Sensorkopf (12 Zoll) 007-219
UHV Ausheizbarer Sensorkopf (20 Zoll) 007-220
UHV Ausheizbarer Sensorkopf (30 Zoll) 007-221
UHV Ausheizbarer Sensorkopf mit Blende (12 Zoll) 750-012-G1
UHV Ausheizbarer Sensorkopf mit Blende (20 Zoll) 750-012-G2
UHV Ausheizbarer Sensorkopf mit Blende (30 Zoll) 750-012-G3
Sputtersensorkopf
007-031
CrystalSix Sensorkopf mit Position wahl 750-446-G1
CrystalSix Sensorkopf (obsolet) 750-260-G1
Crystal12 Sensorkopf 750-667-G1