INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
Seite 133
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IP
N 07
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44
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P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
10
(0x0a)
Thickness Set
Point
Dickensollwert
kÅ
Float
x.xxx
xx.xx
xxx.x
0.000
999.9
11
(0x0b)
New Rate
Neue Rate
Å/s
Float
xxx.x
0.0
999.9
12
(0x0c)
Ratenrampe
Zeit
MM:SS
(s)
Int
0
99:59
(5999)
13
(0x0d)
RateWatcher
Genauigkeit
%
Int
1
99
14
(0x0e)
RW Haltzeit
MM:SS
(s)
Int
0
99:59
(5999)
15
(0x0f)
Sensor
Kann nicht
aktualisiert werden
während ein Film
aktiv ist
Int
1
2
16
(0x10)
Tool Factor 1
Korr.faktor 1
%
Float
xxx.x
10.0
500.0
17
(0x11)
Tool Factor 2
Korr.faktor 2
% (nur aktiv wenn
Sensortyp =
CrystalTwo
Float
xxx.x
10.0
500.0
18
(0x12)
Xtal Stabilität
Einfach
Werte1 bis 24 sind
nicht erlaubt
Int
0
9999
19
(0x13)
Xtal Stabilität
Total
Werte1 bis 24 sind
nicht erlaubt
Int
0
9999
20
(0x14)
Xtal Qualität
Prozent
%
Int
0
99
21
(0x15)
Xtal Qualität
Zähler
Int
0
99
22
(0x16)
2
Quelle
Int
1
2
23
(0x17)
2
Tiegel
Int
0
8
Tabelle 5-2 "Standard" Film Parameter (Fortsetzung)
"Stan-
dard"
Befehl
ID
Name
Einheiten /
Erlaubte Werte /
Bemerkungen
Daten-
typ/
Format
Untere
Grenze
Obere
Grenze