INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
S13. . . . . Rohe Frequenz des aktiven Quarz. xxxxxxx.x Hz [Minus Zeichen vor
dem letzten guten Wert bei Quarzausfall]
S14. . . . . Quarzausfall - Gibt ASCII 1 wenn der aktuelle Quarz ausfällt, 0 wenn
nicht.
S15. . . . . Max Leistung - Gibt ASCII 1 wenn aktuell maximum Leistung geliefert
wird, 0 wenn nicht.
S16. . . . . Quarzwechsel - Gibt ASCII 1 wenn aktuell in Quarzwechsel, 0 wenn
nicht.
S17. . . . . Ende von Prozess - Gibt ASCII 1 wenn Prozess beendet, 0 wenn nicht.
S18. . . . . STOP - Gibt ASCII 1 wenn Prozess in STOP ist.
S19. . . . . DATALOG - Datenaufzeichnung - Gibt Daten Zeichenkette, siehe
für Beschreibung. Daten sind mit Leerzeichen anstatt
CR/LF getrennt.
Das letzte Byte in der Kette kennzeichnet das Schichtende als entweder beendet
in Time Power - Zeit Leistung oder in Normal durch 1 oder 0 beziehungsweise.
Wenn der S19 Befehl benutzt wurde, werden die "Begin Prozess" und "End Pro-
zess" Nachrichten nicht übertragen.
S20. . . . . Aktuelle Konfigurationseinstellungen - gibt 16 ASCII Byte mit einem
Wert von 0 oder 1.
Databyte Folge (Keine-Prüfsumme): 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16
<ACK>
1 = Einstellung Aktiv, 0 = Standard Status für Einstellung
Siehe auch S22 unten.
Tabelle 5-10 S12 Befehl Eingang Status
Eingang #
Byte #
Funktion
1
Start
2
Stop
3
End
4
Sample Initiate - Abtastung Beginnen
5
Sample Inhibit - Abtastung Sperren
6
Xtal Fail Inhibit - Quarzausfall Sperren
7
Zero Thickness - Dicke Nullen
8
Soak 2 Hold - Soak 2 Halt
9
Crucible Valid - Tiegel Gültig