INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 81)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Kapitel 4
Parametereingabe
4.1 Übersicht zur Programmierung
Die folgende generelle Vorgangsweise wird benutzt um das Gerät zu
programmieren. Wenn ein Lock Code-Passwort programmiert ist, muss es
eingegeben werden nachdem der Cursor auf "Lock Code" in der Menu Anzeige
bewegt wurde. (Alle Schritte müssen nicht unbedingt in dieser Reihenfolge
durchgeführt werden.)
1 Sicherstellen, dass das Gerät in READY ist.
Einige Konfigurations- und Prozess Parameter lassen sich nur ändern, wenn
das Gerät bereit (READY) ist. Parameter wie Tooling, Rate, Final Thickness,
Regelschleifewerte und viele andere können geändert werden während eine
Schicht im Durchlauf ist. Sollte die Betriebsanzeige für die erste Konfiguration
nicht READY zeigen, zuerst STOP und dann RESET drücken.
2 Film(e) Definieren
Film Parameter werden in fünf Wahlflächen definiert: Pre/Post (Deposit);
Deposit; Sensor; Source-Quelle; und Option. Diese Parameter bestimmen
Quellenvorwärmung und Abkühlung, Aufdampfrate, Enddicke-Final Thickness,
Regelschleifeeigenschaften und andere Details wie Dichte-Density, Z-ratio,
und Tooling. Ein bestimmter Sensor und Quelle sind mit jedem Film verbunden.
Im XTC/3M können alle Filme mit Namen bezeichnet werden.
3 Prozess(e) Definieren (nur XTC/3M)
Nur ein Prozess kann aktuell aktiv sein. Alle Prozesse im XTC/3M können mit
eigenen Namen programmiert werden. Ein Prozess besteht aus einem oder
mehreren Filmen in Reihenfolge. Filme werden in der gewünschten
Layer-Schicht Reihenfolge in der Prozess Anzeige eingegeben. Ein Film wird
ein Layer-eine Schicht wenn die Filmnummer im Prozess eingegeben wird. Nur
ein Layer-eine Schicht kann aktuell aktiv sein.
4 General Parameter Konfigurieren
Von der General Parameter Anzeige können drei Wahlflächen genutzt werden:
Prozess; Hardware; und Comm Info. Die Prozess Anzeige erlaubt eine Anzahl
von Einstellungen darunter welchen Prozess (XTC/3M) oder Film (XTC/3S) zu
betreiben ist. Die Hardware Anzeige erlaubt die Wahl des Sensortyp,
Quellenregelleistungsbereich und Polung, Schreiberbetriebsart, Audio
Rückmeldung und LCD Abstellzeit. In Comm Info Anzeige werden RS232
Baudrate und Protokoll gewählt sowie die IP Adresse und Net Mask für die
optionale TCP/IP Schnittstelle.