INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 52)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
3.3.3 Film Parameter Anzeige
Abbildung 3-6 Film Parameter Anzeige
Diese Anzeige gibt die Film Parameter und deren Werte dar. 32 Filme können im
XTC/3M programmiert werden, 9 im XTC/3S. Pre/Post Deposit/Beschichtung,
Deposit, Sensor, Source/Quelle und Option Anzeigen werden durch die Film
Parameter Anzeige erreicht.
Wenn die Parameter blockiert sind, wird entweder die "L Lock" oder "R Lock"
Meldung in der oberen rechten Ecke gezeigt. Im Lock-zustand kann die
Filmnummer noch verändert werden so dass andere Filme noch sichtbar sind.
Siehe Abschnitt 4.2 auf Seite 4-2 für Details zur Programmierung.
FILM NAME
| Film Number 1
|
Pre/Post |Rise Time 1 00:00 mm:ss
|Soak Power 1 0.0 %
Deposit |Soak Time 1 00:00 mm:ss
|
Sensor |Rise Time 2 00:00 mm:ss
|Soak Power 2 0.0 %
Source |Soak Time 2 00.00 mm:ss
|
Option |Idle Ramp Time 00:00 mm:ss
|Idle Power 0.0 %
40.0
A/S
183.6
KA
0.0
%