INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 71)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Failure"-Verzögerung- Fehler Alarm Meldung. Wenn der "Stop on Alarms"
Parameter auf die Standard "No" Konfiguration gesetzt ist, wird die Leistung weiter
erhöht bis Max Power erreicht wird.
3.6.7 Crucible Switching-Tiegel Wechsel
Die Tiegel Position Ausgänge können Verdampferquellen mit bis zu acht
Tiegelpositionen kontrollieren. Wenn der "Crucible"-Tiegel Parameter für eine
Quelle auf nicht-Null gesetzt ist, wird Leistung nicht an die Quelle gespeist bis der
"Cruc x Valid" Eingang aktiv ist, d.h. der Tiegel ist in Position. Die "Crucible Sw"
Meldung erscheint während dieser Zeit. Nach 30 s.ohne dass der "Cruc Valid"
Eingang aktiv wird (low), erscheint die "Crucible Sw Fail"-Tiegelwechsel Fehler
Meldung.
3.6.7.1 Bin Modus
In Bin Modus werden acht individuelle folgende Ausgänge verwendet, genannt
"Cruc Src 1 Bin" für Quelle 1 Tiegel oder "Cruc Src 2 Bin" (nur XTC/3M) für Quelle
2 Tiegel, einen pro Position. Siehe
Tabelle 2-4 auf Seite 2-12 für die festen XTC/3S
TTL Ausgangzuordnungen. Diese Zuordnungen gehören zu der aktuell aktiven
Quelle, 1 oder 2. Im XTC/3M können entweder 8 folgende Relaisausgänge oder 8
folgende TTL Ausgänge zugeordnet werden, siehe
Abschnitt 4.5.3 auf Seite 4-29 .
3.6.7.2 BCD Modus (nur XTC/3M)
In BCD Modus werden drei folgende Ausgänge verwendet so dass 000 Position 1
bedeutet und 111 bedeutet Position 8. Die BCD Ausgänge, benannt "Cruc Src 1
BCD" für Quelle 1 Tiegel und "Cruc Src 2 BCD" für Quelle 2 Tiegel, können durch
die Relays oder TTL Outputs Wahlfläche in der I/O Map Anzeige, siehe
Abschnitt
4.5.3 auf Seite 4-29 konfiguriert werden.
3.6.8 Quarzwechsel
Am XTC/3 lassen sich Einfach, CrystalTwo, CrystalSix, Crystal12, Rotary oder
Doppel- Sensoren betreiben. Im Fall der CrystalTwo, CrystalSix, Crystal12, Rotary
und Doppel- Sensoren sind ein oder mehrere Reserveüberwachungsquarze
verfügbar für den Fall, dass ein Quarz während des Aufdampfvorgangs ausfällt.
Die Art des Sensor wird auf der Hardware Wahlfläche in der General Parameter
Anzeige gewählt,
siehe Seite 4-21 .
Die CrystalTwo Option besteht aus dem 750-212-G2 Doppel Sensor mit einem
779-220-G1 oder 779-220-G2 XTAL 2 Switch-Schalter. Die Dual Head Option
benötigt den 750-212-G2 Doppel Sensor mit einem zweiten XIU-Oszillatorpaket
anstelle des 779-220-Gx XTAL 2 Switch. Der normal unbedeckte Quarz wird an
Sensor 1 geschlossen, der Reservequarz, normal bedeckt durch die Blende, wird
an Sensor 2 geschlossen.