1 standard- und kompaktsensoren – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
6.4.1 Standard- und Kompaktsensoren
Für den Quarzaustausch bei den Standard- und Kompaktsensoren wie
nachstehend beschrieben vorgehen.: (siehe
Abbildung 6-3
)
1
Die Quarzhalterung mit den Fingern in Laborhandschuhen ergreifen und
gerade aus dem Sensorkörper herausziehen.
2
Den Keramikhalter (Crystal Retainer) vorsichtig aus der Halterung
heraushebeln (oder den Quarzgreifer verwenden, siehe; siehe
Abbildung 6-6
auf Seite 6-25
).
3
Den Halter umdrehen und den Quarz herausfallen lassen.
4
Den neuen Quarz mit der gemusterten Elektrodenseite nach oben weisend (in
Richtung Keramikhalter) einsetzen.
5
Den Keramikhalter (Crystal Retainer) in die Halterung einsetzen, und die
Halterung wieder in den Sensorkörper einsetzen.