INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 184)

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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
6.4.4 Sputtersensor
Die üblichen Vorsichtsmaßnahmen zum Quarzaustausch beachten und zudem die
nachstehende Beschreibung zum Austausch des Quarzes in einem Sputtersensor
berücksichtigen.
1 Den Sensorkörper mit den Fingern ergreifen und diesen gerade aus dem
wassergekühlten Vorderteil herausziehen (es kann dazu erforderlich werden,
das Sensorkabel zu lösen, bevor die Teile getrennt werden können). Siehe
hierzu
Abbildung 6-5 .
2 Die Quarzhalterung gerade aus der Vorderseite des Sensors herausziehen.
3 Den Keramikhalter aus der Quarzhalterung entfernen, indem der
Keramikhalter mit Hilfe des Quarzgreifers gerade herausgezogen wird (siehe
Abschnitt 6.4.5 auf Seite 6-25 zum Einsatz des Quarzgreifers).
4 Die Quarzhalterung umdrehen, so dass der Quarz herausfällt.
5 Einen neuen Quarz in die Quarzhalterung einsetzen, so dass die gemusterte
Elektrode nach hinten weist und mit den Kontaktfedern im keramischen Halter
in Kontakt ist (zum Sputtern sind ausschließlich spezielle Silberquarze
einzusetzen IPN 008-009-G10).)
6 Den Keramikhalter wieder in die Quarzhalterung einsetzen, und diesen dann
wiederum in die vorderseitige Sensorabdeckung einsetzen..
7 Das hintere Teil so ausrichten, dass die Position des Verbinders mit der
Einkerbung auf der Vorderseite des Sensors übereinstimmt. Beide Teile
einrasten lassen. Das Sensorkabel wieder anschließen, falls dieses zuvor
gelöst wurde.
Abbildung 6-5 Sputtersensor
BODY ASSEMBLY
IPN 750-619-G1
CERAMIC RETAINER
IPN 007-023
Quarz
IPN 008-009-G10
(SILVER)
Quarz HOLDER
IPN 007-049
SENSOR
FRONT COVER
IPN 007-047
IN-VACUUM CABLE
ASSEMBLY (30,75" [781 mm])
IPN 007-044