INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
DELAYED START - Verzögerter Start
Start wird ausgelöst nachdem das Gerät interne Vorgänge vollendet.
DIGITAL INPUT - Digitaleingang
Gerät ging in STOP weil der vorgewählte Stop Eingang aktiviert wurde.
EMPTY PROCESS - Leerer Prozess
Bedeutet dass der gewählte Prozess keine Schichten hat und deswegen nicht
zum Durchlauf gewählt werden kann.
END OF PROCESS - Prozessende
Bedeutet dass die letzte Schicht im Prozess den Idle Status erreicht hat.
ETCH MODE - Ätzmodus
Bedeutet dass das Gerät im Ätzmodus ist.
ETHERNET IN USE - Ethernet in Benutzung
Ethernet Werte können zur Zeit nicht verändert werden.
ETHERNET VALUES HAVE CHANGED - Ethernet Werte wurden verändert
Änderungen treten beim Einschalten in Kraft.
FRONT PANEL - Frontplatte
Bedeutet das Gerät wurde durch die STOP Taste auf der Frontplatte gestoppt.
HANDCONTROL - Handbedienung
Bedeutet das Gerät wurde durch STOP auf der Handbedienung gestoppt.
INCORRECT TIME - Falsche Zeit
Falscher Wert wurde eingegeben.
INPUT INCORRECT - Eingabe falsch
Der falsche Lock Code - Passwort wurde eingegeben um die Parametersperre
zu befreien.
INVALID MASK - Ungültiger Maskenwert
Gateway Maskenwert ist falsch.
L LOCK - Lokale Sperre
Bedeutet das Gerät ist im lokal programmierten Sperrzustand. Verhindert
dass Parameter über die Frontplatte eingegeben werden können bis der Lock
Code - Passwort eingegeben wird.
LAYER INSERT - Schicht einfügen
Erscheint in der Prozessliste um anzudeuten dass "Layer Insert" -
Schichteinfügung erfolgreich war.
MAX POWER - Max Leistung
Bedeutet dass die programmierte maximum Leistung erreicht wurde. Der
Leistungwert wird in rot dargestellt.