INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 156)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
S21. . . . . Fehlerflagge - Wenn mehrere Fehlercode bestehen, gibt die
Antwortzeichenkette alle zurück, jeder getrennt mit Leerzeichen.
S21 Antwort Code:
0 Fehler 0
2 Leistungfehler oder STBY/ON Ablauf
9 Fehler 9
10 Keine Fehler
S22. . . . . Gibt Instrument Konfiguration, wie bei S20.
S30. . . . . Gibt Status von jedem Quarz in einem Multikopf Sensor.
S31. . . . . Gibt einen 6.25 Sekunden gleitenden Durchschnitt (alle 0.25 s
aktualisiert) der Messrate.
5.3.5.5 "XTC2" REMOTE - Fernbedienung Befehle
Das Format der Fernbedienbefehle ist:
R xx vvv (ein Leerzeichen ist notwendig zwischen xx und vvv)
mit:
R . . . . . . Ist das wörtliche R
xx . . . . . . Ist der Fernbedienungcode per Liste unten.
vvv . . . . . Ist der verbundene Wert benötigt für manche Befehle.
R0. . . . . . Start. Äquivalent zu betätigen der START Taste auf der Frontplatte.
R1. . . . . . Stop. Äquivalent zu betätigen der STOP Taste auf der Frontplatte.
R2. . . . . . Reset. Äquivalent zu betätigen der RESET Taste auf der Frontplatte.
R3. . . . . . Parametersperrung Ein- Remote Lock On. Verhindert
Parametereingabe von der Frontplatte.
R4. . . . . . Parametersperre Aus - Remote Lock Off. Löscht Parametersperre.
R5. . . . . . Quarzausfallsperre Ein. Simuliert Digitaleingang.
R6. . . . . . Quarzausfallsperre Aus. Simuliert Freigabe des Digitaleingang.
R7. . . . . . Soak Halt 2 An. Simuliert Digitaleingang.
R8. . . . . . Soak Halt 2 Aus. Äquivalent zu Freigabe des Digitaleingang.
R9. . . . . . Manuell An. Äquivalent zu betätigen der MPWR Taste auf der
Frontplatte.
R10. . . . . Manuell Aus. Äquivalent zu betätigen der MPWR Taste auf der
Frontplatte.
R11 . . . . . Leistung auf Pegel vv setzten. Setzt die Leistung der aktiven Quelle auf
vv% wenn das Gerät in Manuell Modus ist.