INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
5.2.2.3.7 "Standard" Query-Abfrage Ausgangtyp Definition (Nur XTC/3M)
Befehl:
QT <Ausgangnummer>
Ausgangnummer = <Byte> 1-20, 255 (255=alle Ausgänge)
Antwort:
Für Ausgangnummer 1 – 20:
<Ausgangtyp>
Für Ausgangnummer 255:
< Ausgang1 Typ > < Ausgang2 Typ > … < Ausgang20 Typ >
Ausgangtyp = <Byte>
0 = Normal offen
1 = Normal geschlossen
5.2.2.3.8 "Standard" Query-Abfrage Prozess Parameter (Nur XTC/3M )
Befehl:
QP <Befehl ID> <Prozess Nummer>[<Parameter>]
Befehl ID = siehe Liste unten
Prozess Nummer = <Byte> 1-99
<Parameter> = Abhängig von Befehl ID (siehe Liste unten)
Antwort:
Abhängig von Befehl ID (siehe Liste unten)
Befehl ID = 1 "Schichtliste"
Antwort:
<Anzahl von Schichten> <Schicht 1> <Schicht 2> … <Schicht n>
Anzahl von Schichten = <2 Bytes> n = Anzahl von Schichten in diesem Prozess
Schicht n = <Byte>Film Nummer für jede Schicht, 1 bis n, mit n = Anzahl von
Schichten
Befehl ID = 2 "Name"
Antwort:
<Prozess Name>
Prozess Name = <Zeichenkette> maximum 15 Zeichen plus
Nullterminierzeichen.
Befehl ID = 3 "Spezielle Schicht"
<Parameter> = <2 Bytes> Gewünschte Schicht
Antwort:
<Byte> 1-32, Filmnummer der gewünschten Schicht