INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 39)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
 Sicherstellen, dass alle Abdeckungen - auch die für Optionen - an den dafür
vorgesehenen Stellen vorhanden und mit den entsprechenden
Befestigungselementen fixiert sind.
HINWEIS: Zur Verringerung der Aufnahme elektrischer Störungen immer
abgeschirmte Leitungen für die Verbindungen an der Rückseite des
XTC/3 verwenden.
2.3 Verbinden des Regelgerätes
Die ordnungsgemäße Funktion des Regelgerätes hängt in starkem Maße von der
ordnungsgemäßen Ausführung der Stromversorgungs- und Signalschnittstellen zu
den entsprechenden Geräten und Aufdampfquellen ab.
2.3.1 Prüfen der richtigen Netzspannung
WARNUNG - Schockgefahr
Bei vorhandener Netzverbindung ist im Primärstromkreis
des Gerätes Netzspannung vorhanden.
Während des normalen Betriebs niemals die
Geräteabdeckungen entfernen.
Im Gerät befinden sich keine Teile, die vom Benutzer
gewartet werden müssten.
Die obere und untere Abdeckung darf nur von einem
qualifizierten Techniker entfernt werden.
Das Regelgerät wird mit Netzspannung als die primäre Spannungsquelle versorgt.
Die erlaubten Netzspannungen und Nennwert und Art der Sicherung sind in
Abschnitt 1.4.9 auf Seite 1-11 beschrieben.
2.3.2 Verlegung der Oszillator (XIU)-Leitungen
Die durch diese Leitung übertragenen Signale sind sowohl analoger als auch
digitaler Natur. Es wird empfohlen, diese Leitung nicht in der Nähe von Bereichen
mit starken elektromagnetischen Störungen zu verlegen, selbst wenn dies eine
etwas längere Leitung erfordert.
2.3.3 Herstellung und Belegung der Schnittstellen-Leitungen
Um das Regelgerät mit dem Aufdampfsystem zu verbinden, ist es erforderlich,
einige Leitungen herzustellen. Bitte beachten Sie
Abschnitt 2.2.3, Minimierung der
Aufnahme von Störungen durch die externe Verdrahtung, auf Seite 2-8 .