INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 106)

4 - 26
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
4.5 I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Übersicht
Abbildung 4-18 XTC3/M Haupt Menu Anzeige
Die "I/O Map" Anzeige erscheint nach betätigen der MENU Taste, dann Cursor zu
“I/O Map” bewegen und MENU Taste wieder drücken.
Abbildung 4-19 XTC/3M All I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Anzeige
Die All I/O Anzeige stellt die komplette digitale I/O Übersicht dar. Die Funktionen
der Eingänge 1 bis 9 sind auf dem oberen Teil der Anzeige dargestellt und der
Status der Ausgänge wird auf dem unteren Teil gezeigt. Aktive Ausgänge sind
hervorgehoben.
Im XTC/3M können All I/O, Inputs, Relay oder TTL Anzeigen separat gewählt
werden. In allen Anzeigen außer "All I/O" am XTC/3M können die jeweiligen
Eingänge oder Ausgänge verschiedenen Funktionen zugeordnet werden.
XTC/3M
Operate
Film Parameter
Process List
General Parameter
I/O Map
Diagnostics
Sensor
83.4
Å/S
428.3
KÅ
29.8
%
I/O MAP
| 1 Start 5 RW Sampl Inhib
| 2 Stop 6 XtalFail Inhibit
| 3 End Deposit 7 Zero Thick
| 4 RW Sampl Init 8 Soak 2 Hold
All I/O | 9 Cruc 1 Valid
| 1 Source Shut 1 7 Thick Setpoint
Inputs | 2 Source Shut 2 8 Soak 2
| 3 Sensor Shut 1 9 Xtal Fail
Relay | 4 Sensor Shut 2 10 Alarms
| 5 Stop 11 Source in use
TTL | 6 End of Process 12 Final Thick
|13 Cruc Src 1 Bin 17 Cruc Src 1 Bin
|14 Cruc Src 1 Bin 18 Cruc Src 1 Bin
|15 Cruc Src 1 Bin 19 Cruc Src 1 Bin
|16 Cruc Src 1 Bin 20 Cruc Src 1 Bin