INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 62)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
SHUTTER DEL(AY)
Blendenverzögerung Die Aufdampfrate wird geregelt. Wenn
TRANSFER SENSOR auf Yes gesetzt
wurde, ist der zweite Sensor in Betrieb.
Geht weiter zum Aufdampfzustand
Deposit nachdem die Aufdampfquelle
innerhalb einer Abweichung der
Aufdampfratenregelung von 5% oder 0.5Å
für 5s liegt. [Delay Option, Shutter Delay
ON] Inaktiv Aktiv
HINWEIS: Die folgenden sind Beschichtung/Deposit Statusse.
CONTROL DELAY
Regelungsverzögerung
(Deposit Status) Leistung konstant bei Soak Leistung 2.
Ratenregelung beginnt wenn die
Verzögerungszeit vorbei ist. [Delay Option,
Control Delay, Control Delay Time] Aktiv Aktiv
DEPOSIT Dicke genullt auf Eingang in Depositphase
oder zurückgesetzt zu gespeichertem
Wert bei Stop/Start ohne Reset.
Ratenregelung. [Rate, Final Thickness,
PID Control, Prozess Gain, Primary Time
Constant, System Dead Time] Aktiv Aktiv
RATEWATCHER
(SAMPLE)/Abtasten
(Deposit Status) Ratenregelung. [RateWatch Accuracy] Aktiv Aktiv
RATEWATCHER
(HOLD)/Halten
(Deposit Status) Leistung konstant, basiert auf
durchschnittliche Leistung während der
letzten Abtastung. [RateWatch Hold Time] Aktiv Inaktiv
RATE RAMP
Ratenrampe Ratenregelung, gewünschte Rate ändert
sich. [New Rate, Start Ramp, Ramp Time] Aktiv Aktiv
MANUAL Die Leistungsabgabe an die
Aufdampfquelle wird über die
Fernbedienungseinheit gesteuert oder
über die Auf-, Abwärts Pfeiltasten auf der
Frontplatte. Aktiv Aktiv
TIME-POWER
ZEIT-LEISTUNG Quarzausfall, Quelle wird auf
durchschnittliche Regelleistung bevor
Quarzausfall gehalten; [Time Power
Yes/No] Aktiv Aktiv
Tabelle 3-1 Status Beschreibungen (Fortsetzung)
STATUS ZUSTAND RELAIS KONTAKT
STATUS
Quellen
blende Sensor-
blende