INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Crucible-Tiegel . . . . . . . 0 bis 8
Dieser Parameter kann dazu verwendet werden, die Tiegelposition automatisch
weiterzuschalten, wenn eine Tiegeleinrichtung mit mehreren Tiegelposition
eingesetzt wird. Der gewählte Wert entspricht der Tiegelposition, die für diesen
Film benutzt wird. Der Standardwert ist 0 und bedeutet eine Eintiegelquelle. Wenn
ein nicht-Null Wert eingegeben wird, werden die zugeordneten Ausgänge
automatisch aktiviert. Leistung für die Quelle wird nicht gespeist bis der
zugeordnete Cruc Valid-Tiegel in Position Eingang aktiviert ist.
CONTROL GAIN . . . . . . Reglerverstärkung........0.01 bis 100.0 Å/s/% Pwr
Bestimmt die Veränderung in % Leistung für eine bestimmte Ratenabweichung
(dRate/dLeistung). Je größer der Parameterwert, desto kleiner die Veränderung
der Leistung für eine Ratenabweichung. Der Standardwert ist 10 Å/s/% Pwr -
Leistung
Abbildung 4-6 Control Gain - Reglerverstärkung
TIME CONSTANT . . . . . Zeitkonstante.........................0.1 bis 100.0 s
Gibt die Zeitkonstante der Verdampfungsquelle. Dieser Wert ist als der
Zeitunterschied zwischen dem Anfang einer Ratenänderung und dem Zeitpunkt
wo 63% der Ratenänderung erreicht wird, definiert. Dieser Wert kann nach den
oben angegebenen Kriterien gemessen werden oder kann empirisch ermittelt
werden. Der Standardwert ist 1.
R
A
T
E
2
0
1
0
0
P
O
W
E
R
Percent
2
0
1
9
Angstroms/second
delta Rate = 10
delta Power = 1
CONTROL GAIN = dRate / dPower = 10 / 1 = 10
R
A
T
E
2
0
1
0
0
P
O
W
E
R
Percent
2
0
1
9
Angstroms/second
delta Rate = 10
delta Power = 1
CONTROL GAIN = dRate / dPower = 10 / 1 = 10