INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Tabelle 3-3 Eingänge
Eingang Funktion
Beschreibung
Start
Ein HIGH-LOW Flankensignal verursacht START wenn ein Layer nicht
schon läuft.
Stop
Ein HIGH-LOW Flankensignal verursacht STOP
End Deposit
Ein HIGH-LOW Flankensignal beendet den Deposit Status als ob die
Enddicke erreicht wurde.
RW Sample Init
Abtasten Initiieren
Ein HIGH-LOW Flankensignal verursacht eine RateWatcher Abtastung
wenn der Film dafür programmiert ist.
RW Sample Inhib
Abtasten verhindern
Belegung mit Masse hält die RateWatcher Funktion in seinem
Haltezustand.
XtalFail InhiBit
Quarzausfall
verhindern
Belegung mit Masse verhindert das Schließen des Quarzausfallrelais
und den damit verbundenen Stop.
Zero Thick
Dicke Nullen
Ein HIGH-LOW Flankensignal simuliert die ZERO Taste Nullung von
der Frontplatte.
Soak 2 Hold
Soak 2 Halten
Belegung mit Masse verlängert den SOAK 2 Status bis das
Eingangssignal entfernt wird.
Cruc 1 Valid
(im XTC/3S,auch für
Quelle 2 benutzt)
Belegung mit Masse vom Mechanismus zur Tiegelrotation wird benutzt
um zu melden dass der richtige Tiegel für Quelle 1 (oder 2 im XTC/3S)
in Position ist und Statusreihenfolge weitergehen darf.
Cruc 2 Valid
(nur M)
Belegung mit Masse vom Mechanismus zur Tiegelrotation wird benutzt
um zu melden dass der richtige Tiegel für Quelle 2 in Position ist und
Statusreihenfolge weitergehen darf
Reset (M, S wenn
Film Select Option in
Gebrauch)
Ein HIGH-LOW Flankensignal verursacht RESET wenn in Stop.
Sel Prozess (4)
Prozess wählen
(nur M)
Der Status der zwei verbundenen Eingänge bestimmt den Prozess, 1 bis
4, der gewählt wird wenn ein START erfolgt während das Gerät in Ready
oder Idle des letzten Layer ist. 00 für 1, 01 für 2, 10 für 3 und 11 für 4.
Sel Prozess (16)
(nur M)
Wie oben, nur werden vier Eingänge benutzt um Prozess 1 bis 16 zu
wählen.
Sel Prozess (64)
(nur M)
Wie oben, nur werden sechs Eingänge benutzt um Prozess 1 bis 64 zu
wählen.
Sel Prozess (99)
(nur M)
Wie oben, nur werden sieben Eingänge benutzt um Prozess 1 bis 99 zu
wählen.
Switch Crystal
Quarzwechsel
(nur M)
Ein HIGH-LOW Flankensignal simuliert die XTSW Taste auf der
Frontplatte.