INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Kapitel 1
Einführung und Technische Daten
1.1 Einführung
Das XTC/3 wird in zwei Versionen hergestellt: XTC/3M Multi-Schichten
Aufdampfregelgerät und XTC/3S Single Schicht Aufdampfregelgerät. Diese
Gebrauchsanleitung betrifft beide Geräte, wobei der Name XTC/3 benutzt wird
wenn die Beschreibung beide Geräte betrifft und XTC/3M oder XTC/3S wenn die
Beschreibung nur das spezielle Gerät betrifft.
Die Gebrauchsanleitung zum XTC/3 enthält Benutzerinformationen zur
Installation, Programmierung, Kalibrierung und Betrieb der Elektronikeinheit.
Das XTC/3 ist ein Prozessregelgerät, welches in erster Linie für den Einsatz an
PVD Bedampfungsanlagen entwickelt wurde. Das Gerät ist in der Lage, die
Aufdampfrate und die Schichtdicke dünner Schichten zu überwachen oder zu
regeln. Die Messung der Aufdampfrate und der Schichtdicke beruht auf der
Frequenzänderung eines Quarzes, wenn dessen Masse sich vergrößert. Bei
dieser Methode werden die Sensoren im direkten Bereich oder seitlich zur
Aufdampfquelle zwischen dem Materialdampf und dem Zielsubstrat positioniert.
Ein Teil des Sensors ist ein oszillierender Quarz, welcher der Aufdampfquelle
ausgesetzt ist, und dessen Frequenz sich in dem Maße verringert, wie sich
Material auf ihm ansammelt. Die Frequenzänderung liefert die Informationen zur
Bestimmung der Aufdampfrate und Schichtdicke und zur stetigen Regelung der
Aufdampfquelle. Durch die Eingabe von Zeiten, Schichtdicken und
Leistungsgrenzwerten sowie die gewünschten Aufdampfraten und
Materialeigenschaften, ist das Gerät in der Lage, den Prozess automatisch mit
höchster Präzision und Wiederholgenauigkeit zu regeln. Die Bedienereingaben
erfolgen über die Bedienelemente an der Gerätevorderseite, oder über serielle
Kommunikation indem die zur Festlegung des Prozesses erforderlichen Parameter
entweder ausgewählt oder eingegeben werden. Das gesamte System besteht aus
der Elektronikeinheit XTC/3, Sensorkopf oder Köpfen und der Quarzbaugruppe
(XIU) für jeden verbundenen Sensor. Diese Komponenten werden im allgemeinen
im Werk zusammengestellt, sind aber auch einzeln erhältlich.
Beim Lesen der Gebrauchsanleitung zum XTC/3 sind die mit HINWEIS,
ACHTUNG und WARNUNG gekennzeichneten Abschnitte besonders zu
beachten. Die Bedeutung dieser Kennzeichnungen ist in
beschrieben.
Sie sind eingeladen die Nützlichkeit und Genauigkeit dieser Anleitung zu bewerten
in dem Sie die Registrierkarte ausfüllen und einsenden.