INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 11)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Kapitel 7
Kalibrierverfahren
7.1 Bedeutung von Dichte, Korrekturfaktor (Tooling) und
Impedanzverhältnis (Z-Ratio) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2 Bestimmung der Dichte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.3 Korrekturfaktor - Tooling Bestimmen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.4 Laborbestimmung des Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
7.5 Z-Ratio Abschätzen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
Kapitel 8
Messtechnik und Regelungstheorie
8.1 Grundlagen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.1.1 Überwachungsquarze. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
8.1.2 Periodendauermessung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-4
8.1.3 Z-Match Methode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-6
8.1.4 Aktive Oszillatoren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-6
8.1.5 ModeLock Oszillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-9
8.1.6 Theorie der Regelschleife. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-10
Appendix A
Materialtabelle
Index