INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 122)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
5.2.2.3 "Standard" QUERY-ABFRAGE Befehle
5.2.2.3.1 Query-Abfrage Block
Befehl:
QB <Befehl ID>
Befehl ID = siehe Liste unten
Antwort:
Abhängig vom Befehl ID. siehe folgende Liste unten.
Befehl ID = 1 ”Alle Parameter”
Dieser Befehl bringt alle Parameter in der folgenden Ordnung zurück. Formate
sind in den einzelnen Befehlen angegeben. Maximum Anzahl von Bytes
erlaubt in der Antwort ist 57800. Ein Befehllänge Fehlercode "L" wird
übertragen wenn zuviele Daten vorhanden sind.
Antwort:
<Anzahl von Bytes in Antwort><General Parameter><Film 1 schließen
Parameter><Eingänge><Ausgänge><Ausgangtyp><Film 1 Name>…<Film 32
Name> <Prozess Eins>…<Prozess 99><Prozess 1 Name>…<Prozess 99
Name>
Anzahl von Bytes in Antwort (2 Bytes)
Alle General Parameter (4 Bytes pro Parameter)
Alle Parameter für jeden Film (4 Bytes pro Parameter) (9 oder 32 Films je
nachdem ob XTC/3S oder XTC/3M)
Alle Eingang Definitionen (9) (1 Byte pro Eingang) (nur XTC/3M)
Alle Ausgang Definitionen (20) (1 Byte pro Ausgang) (nur XTC/3M)
Alle Ausgangtype (20) (1 Byte pro Ausgang) (nur XTC/3M)
Alle Film Namen (Null terminiert) (32 Filme) (nur XTC/3M)
Schichtenliste für jeden Prozess (99) (2 Byte Länge (für die Anzahl der
programmierten Schichten) gefolgt von 1 Byte für jede programmierte Schicht
(nur XTC/3M)
Alle Prozessnamen (Null terminiert) (99) (nur XTC/3M)
2 Strukturnummer
Kompatibilitätsnummer
Bereichnummer
Unit Typ < Integer>< Integer>< Integer><
Integer>
(0 = XTC3/M, 1 = XTC3/S)
(77 = XTC3/M, 83 = XTC3/S)
3 Firmware Version
Nummer <Float>
Tabelle 5-1 Hello Befehl Antwort (Fortsetzung)
"Standard"
Befehl ID Bedeutung Antwort