INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 53)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
3.3.4 Prozessliste Anzeige (nur XTC/3M )
Die Prozessliste gibt es nur im XTC/3M. Das XTC/3S ist ein Ein-Prozess,
Ein-Layer Regelgerät.
Abbildung 3-7 XTC/3M Prozessliste Anzeige
Ein Prozess besteht aus einem oder mehreren Layer (Schichten), die
nacheinander stattfinden. siehe
Abschnitt 4.3 auf Seite 4-16 für Details zur
Programmierung. 99 Prozesse können im XTC/3M programmiert werden, jeder
davon mit bis zu 999 Layer.
Beim öffnen der Prozessanzeige erscheint derjenige Prozess der zuletzt gezeigt
wurde. Ein anderer Prozess kann aufgerufen werden indem der Cursor zu dem
Prozessnummer Parameter bewegt wird, die gewünschte Prozessnummer
eingeben und die "ENTER" Taste betätigt wird.
Wenn die Parameter blockiert sind, erscheint die "L Lock" oder "R Lock" Meldung
in der oberen rechten Ecke. Die Prozessliste wird gezeigt aber kann nicht
verändert werden. Die Prozessnummer kann jedoch immer noch geändert werden
um andere Prozesse zu sehen.
Die Wahlfläche (linke Seite unter Layers) enthält Gruppen von je 10 Layer die in
der Parameteranzeigefläche (rechts unter Process #) angezeigt werden können.
Process 1
Active
Process 1
Layers Process 1
Name
1-10 1 Film_Name_1
11-20 2 Film 3
21-30 3 Film 2
4 Film 3
5 Film_Name_1
6 Film 6
7 Film 7
8 Film_Name_1
9 Film 2
10 Film 2
40.0
A/S
183.6
KA
0.0
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