INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
.
Tabelle 6-2 Sensor Fehlersuche und Diagnosis
SYMPTOM
URSACHE
BEHEBUNG
1.große Sprünge in
Schichtdicke während des
Aufdampfens.
a. Modensprünge wegen
eines fehlerhaften Quarzes.
a. Quarz ersetzen
b. Mechanische
Belastungen führen dazu,
dass sich die Schicht vom
Quarz ablöst.
b. Quarz ersetzen,
möglicherweise INFICON
Alloyquarz versuchen
c. Partikel oder Spritzer
geschmolzenen
Materials treffen den Quarz.
c. Vor dem Aufdampfen die
Aufdampfquelle gründlich
thermisch konditionieren.
Während der Konditionierung
eine Blende zum Schutz des
Quarzes verwenden.
d. Kratzer oder
Fremdkörper auf der
Fläche des Quarzhalters
(falsche Quarzauflage).
d. Die Fläche im Quarzhalter
reinigen
und polieren.
e. Kleine Materialteile sind
auf den Quarz gefallen (bei
nach oben weisenden
Quarzflächen in Verbindung
mit dem Sputtern).
e. Die Quarzfläche überprüfen
und
mit sauberer Luft abblasen.
f. Kleine magnetische
Teilchen wurden vom
Sensormagneten
angezogen und haben
Kontakt mit dem Quarz
(Sputter Sensorkopf).
f. Die Öffnung in der
Abdeckung des Sensors
überprüfen und ggf.
vorhandenes Material, welches
den Quarz verdeckt, entfernen.