INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 143)

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IP
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P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
5.2.2.6 "Standard" REMOTE-Fernbedienung Befehle
R <Befehl ID> (<Aktion Wert>)
Befehl ID = <Byte>. siehe "Beschreibung" Tabelle nach Antwort
Aktion Wert = <Byte> | <Integer> | <Float> Einige Befehle haben einen Wert,
siehe
Tabelle 5-5 .
Antwort:
Keine (Nur Header und Trailer)
33
(0x21)
Status Nachricht (4 Bytes) Jedes Bit bedeutet welche Status
Nachricht angezeigt wird.
0x80000000 = Max Power-Leistung
0x40000000 = Crystal Fail-Quarzausfalll
0x20000000 = Crystalswitch Fail-Quarzwechsel
Fehler
0x10000000 = Crystalswitch-Quarzwechsel
0x08000000 = Carousel Open-Karussell Offen
0x04000000 = Control Delay-Regelverzögerung
0x02000000 = Transfer Delay-Übergabe
Verzögerung
0x01000000 = Delay Failure-Verzögerung Fehler
0x00800000 = End of Prozess-Prozess Ende
0x00400000 = RateWatcher Delay-Verzögerung
0x00200000 = RateWatcher Hold-Halt
0x00100000 = RateWatcher Sample-Abtasten
0x00080000 = Crucible Switch Fail- Tiegelrotation
Fehler
0x00040000 = Soak Hold-Halt
0x00020000 = Non Deposit Hold-Halt
0x00010000 = Etch Mode-Ätzmodus
0x00008000 = Local Lock-Lokale Parametersperre
0x00004000 = Remote Lock- Kommunikation
Parametersperre
0x00002000 = Test
0x00001000 = Delayed Start-Verzögerter Start
0x00000800 = Testing XIU-Prüfung
0x00000400 = Layer Insert-Schicht einfügen
0x00000200 - 0x00000001 nicht definiert
34 (0x22) Rohe Rate (Float) Rate Å/s
35
(0x23)
Ethernet
Parameter (8 Bytes) Erste 4 Bytes = IP Adresse (xx.xx.xx.xx)
Zweite 4 Bytes = Netzmaske (xx.xx.xx.xx)
mit der meist-linken xx Gruppe als MSB in beiden
Tabelle 5-4 "Standard" Status Befehle (Fortsetzung)
"Standard"
Befehl ID
Beschreibung Antwort:
Beschreibung (Data Format)Einheit-Detail