4 sensor parameter, Siehe, Rw hold – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
Seite 87: Rw haltezeit 00:00 bis 99:59 min:s auf seite 4-7, Das ist die z, Film name
4 - 7
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
RATE RAMP TIME- Rampenzeit . . 00:00 bis 99:59 min:s
Bestimmt die Zeit in der die Rate vom Originalwert zum New Rate - Neue Rate
Wert verändert wird. Der Standardwert ist 00:00.
RW ACCURACY- RW Genauigkeit 1 bis 99%
Während der Aufdampfratenabtastungsperiode wird die Aufdampfrate durch den
Quarz gemessen; die Regelung für die Leistung ist aktiv. Verweilt die Aufdampfrate
innerhalb des gewünschten Genauigkeitbereichs für mehr als 5 Sekunden, wird die
Blende geschlossen, und der Aufdampfstatus geht auf HOLD (Konstanthalten).
Die minimale Ungenauigkeit beträgt 1 % oder 0,5 Å/s, je nachdem welcher Wert
größer ist. Der Standardwert ist 5 %.
RW HOLD- RW Haltezeit . . . . . . . . 00:00 bis 99:59 min:s
RW Hold-Haltezeit bestimmt die Zeitdauer zwischen zwei Abtastperioden.
Während dieser Zeit befindet sich das Relais für die Quarzblende im normalen
Zustand. Der Standardwert ist 00:00 und setzt diese Funktion außer Betrieb.
Während einer Aufdampfratenrampe ist die Abtast- Haltefunktion inaktiv; die
Blende für den Quarz ist offen, und die Aufdampfrate wird durch den Quarz
geregelt.
4.2.4 Sensor Parameter
Abbildung 4-4 Sensor Film Programm Anzeige
SENSOR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1, 2
Bestimmt welcher Sensor für den Film benutzt wird. Standardwert ist 1.
TOOLING- Korrekturfaktor. . . . . . . 10.0 bis 500.0%
Der "Tooling" Parameter betrifft den primären Quarz.
FILM NAME
| Film Number 1
|
Pre/Post |Sensor 1
|Tooling 100.0 %
Deposit |Second Tooling 100.0 %
|
Sensor
|Stability
| Single 0 Hz
Source | Total 0 Hz
|Quality
Option | Percent 0 %
| Counts 0
40.0
A/S
183.6
KA
0.0
%