INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 111)

4 - 31
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Abbildung 4-27 Relais Ausgänge 4
Abbildung 4-28 TTL Ausgänge
HINWEIS: Drei zusätzliche Anzeigen, identisch mit denen für die Relaisausgänge,
sind vorhanden um weitere TTL Ausgänge zu selektieren.
HINWEIS: Drei Relais oder TTL Ausgänge aufeinander müssen vorhanden sein
um die BCD Ausgangfunktion, "Cruc Src 1 BCD" oder "Cruc Src 2 BCD"
zu wählen. Alle drei Ausgänge sind Inaktiv für Position 1, alle drei sind
Ausgänge sind aktiv für Position 8. Der erste Ausgang in der
Reihenfolge ist das LSB. Acht Relais oder TTL Ausgänge aufeinander
müssen vorhanden sein um die Bin Ausgangfunktion, "Cruc Src 1 Bin"
oder "Cruc Src 2 Bin" zu wählen. In BIN Modus ist immer nur einer
dieser acht Ausgänge aktiv, z.B. Ausgang13 für Position 1, Ausgang14
für Position 2 usw.
Relay Outputs
|
| <Previous> 1 Source Shut 1 NO
| Computer Contl 2 Source Shut 2 NO
All I/O| Cruc Src 1 Bin 3 Sensor Shut 1 NO
| Cruc Src 1 BCD 4 Sensor Shut 2 NO
Inputs | Cruc Src 2 Bin 5 Stop NO
| Cruc Src 2 BCD 6 End of Process NO
Relay | 7 Thick Setpoint NO
| 8 Soak 2 NO
TTL | 9 Crystal Fail NO
| 10 Alarms NO
| 11 Source in use NO
| 12 Final Thick NO
|
|
TTL Outputs
|
| <Blank>
| Source Shut 1
All I/O| Source Shut 2 13 Cruc Src 1 Bin NO
| Sensor Shut 1 14 Cruc Src 1 Bin NO
Inputs | Sensor Shut 2 15 Cruc Src 1 Bin NO
| Stop 16 Cruc Src 1 Bin NO
Relay | End of Process 17 Cruc Src 1 Bin NO
| Thick Setpoint 18 Cruc Src 1 Bin NO
TTL | Soak 2 19 Cruc Src 1 Bin NO
| Xtal Fail 20 Cruc Src 1 Bin NO
| Alarms
| Source in use
| <More>
|