INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 49)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
3.3.2 Betriebsanzeige
Nach Einschalten erscheint die Betriebsanzeige nach der temporären
Initialisierungsanzeige. Die Betriebsanzeige liefert Information betreff des
momentan aktiven Film und Prozess. Die Information auf dieser Anzeige umfasst
den vom Nutzer eingegebenen Namen für den Prozess und Film (nur XTC/3M), die
Rate, Leistung, Schichtdicke, Status, Statuszeit, Layerzeit, Prozesszeit (nur
XTC/3M), Quelle und Sensor in Betrieb, Quarznummer, Prozent Leben, S und Q
Werte.
Eine grafische Darstellung in analoger Form zur Anzeige der Ratenabweichung
oder der Ausgangsleistung während des Prozesses wird auch angezeigt.
Die Anzeige kann verändert werden indem der Cursor auf die Y-Achse Benennung
bewegt wird und danach die TOGL Taste zwischen Ratenabweichung/Rate
Deviation und Leistung/Power. Die Skalierung der Ratenabweichung kann auch
mit TOGL auf 5,10, 20 und 40 Angstroms/s gewählt werden wenn der Cursor auf
den Wert auf der Y-Achse gesetzt ist.
Systemmeldungen und Fehler erscheinen auf allen Anzeigen außer I/O Map.
HINWEIS: Wenn beim XTC/3M keine Prozess- und/oder Filmnamen bestehen,
werden sie mit Prozess- und/oder Filmnummer ersetzt,
Abbildung 3-4 Betriebsanzeige XTC/3M
0.0
Å/S
0.000
KÅ
TEST
0.0
%
READY
R +10 State mm:ss
A Source 1
T Sensor 1
E Crystal 1
D % Life 0
E S 0
V -10 Q Delay
Process mm:ss Process 1
Layer 1 mm:ss Film 1
Status Messages Here
Stop
Status Transient Stop Cause
5
4
7
10
6
12
13
14
3 16
1, 2 17
15
18
11
9
8