INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 28)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Alle Sensor mit Blende und alle Mehrfachsensor benötigen eine Durchführung mit
Druckluftanschluss und ein pneumatische Blende Aktivierungs-Regelventil.
Pneumatische Blende Aktivierungs-Regelventil: 750-420-G1
1.7 Erstmaliges Einschalten zur Funktionsprüfung
Vor der eigentlichen Installation kann mit dem Gerät eine vorläufige
Funktionsprüfung durchgeführt werden. Dazu werden die Sensoren,
Aufdampfquellenregler, Eingänge und Relais nicht benötigt. Für weitergehende
Installationsinformationen, siehe
Kapitel 2, Installation und Schnittstellen .
WARNUNG - Schockgefahr
Das Gerätegehäuse nicht öffnen! Im Gerät befinden sich
keine Teile, die durch den Bediener gewartet werden
müssten.
Solange das Gerät mit dem Netz verbunden ist oder
Eingangs-/Relais- Verbindungen vorhanden sind,
befinden sich im Gerät möglicherweise
lebensgefährliche Spannungen.
Die Wartung des Gerätes ist daher ausreichend
qualifiziertem Wartungspersonal zu überlassen.
Reserve Vordere Beschichtungsabschirmung 1
Montagepfosten mit Schraubensatz
Keiner 0
Montagepfostensatz 1
Beispiel: Crystal12 Sensor mit 30,75 Zoll Kabel, Reserve
Karussell, Reserve Vordere Beschichtungsabschirmung und
Montagepfostensatz ist Bestell Nummer XL12-11111.
Tabelle 1-1 Crystal12 Sensor (fortgesetzt)
Crystal12 Sensor Paket XL12-xxxxx XL12-