INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 65)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Rate Dev Fail
Ratenabweichungs-
fehler
(nur M) Wenn die Ratenabweichung
größer als 5% oder 0.5Å von der
gewünschten Rate für 60 s oder
20 mal der Zeitkonstante ist wenn
der Zeitkonstant größer als 3s ist. Wenn die Ratenabweichung
innerhalb der Grenzen liegt.
Wenn die Idle Rampe erreicht wird.
Xtal Sw Fail
Quarzwechselfehler
(nur M) Wenn ein versuchter
Quarzwechsel versagt Wenn ein anderer Quarzwechsel
beginnt
Xtal Switching
Quarzwechsel
(nur M) Während ein Quarzwechsel aktiv
ist. Wenn der Quarzwechsel beendet ist
Crucib Sw Fail
Tiegelwechselfehler
(nur M) Kein Crucible Valid/Gut Eingang
innerhalb 30 s von einem
Tiegelwechsel Wenn Start oder Reset erfolgt.
Wenn Stop bei Alarme auf No
gesetzt ist, gibt das Gerät die
Fehlermeldung aber nichts weiteres,
es bleibt in Tiegelwechsel. Wenn der
Cruciblel Gut /Valid Eingang aktiviert
wird, ist der Ausgang rückgesetzt.
Shutter Delay Fail
Blenden-
verzögerungsfehler
(nur M) Blendenverzögerung ist gewählt
und die Ratenabweichung ist
größer als 5% oder 0.5 Å größer
als die gewünschte Rate für 60 s Wenn Start oder Reset erfolgt.
Wenn Stop bei Alarme auf No
gesetzt ist, gibt das Gerät die
Fehlermeldung aber nichts weiteres,
es bleibt in Blendenverzögerung und
regelt die Leistung um die richtige
Rate zu erreichen. Wenn
Ratenregelung im
Spezifikationsbereeich ist, wird der
Ausgang rückgesetzt.
Wenn die Idle Rampe erreicht wird.
Computer Contl
Computer Kontrolle
(nur M) Gesetzt über
Kommunikationsbefehl Gelöscht über
Kommunikationsbefehl
Cruc Src 1 Bin
Cruc Src 1 BCD
(nur M)
Cruc Src 2 Bin
Cruc Src 2 BCD
(nur M) Binäre und BCD Tiegelwechsel
Anwahl.
Wenn Start erfolgt.
Tiegelausgänge werden gesetzt
und rückgesetzt als binär (1 von
8) oder BCD Wenn Start erfolgt.
Tiegelausgänge werden gesetzt und
rückgesetzt als binär (1 von 8) oder
BCD
Tabelle 3-2 Ausgang Statusse
Ausgang Aktiv Inaktiv