INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch

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A

XTC/3 Gebrauchsanleitung

Abbildung 8-4

Aktive Oszillatorschaltung

Die eigentliche Stabilität des Quarzoszillators beruht auf der schnellen Änderung
der Phase innerhalb eines kleinen Frequenzbereiches des Quarzes in der Nähe
seiner Serienresonanz, wie in

Abbildung 8-5

dargestellt. Langzeit- und

Kurzzeit-Frequenzstabilität sind Eigenschaften des Quarzoszillatoren. Dies liegt
daran, dass nur sehr kleine Frequenzänderungen benötigt werden, um die zur
Oszillation erforderliche Phasenverschiebung aufrecht zu erhalten.

Abbildung 8-5 Quarzfrequenz in der Nähe des Resonanzpunktes

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