INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 82)

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IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
4a Sensor Konfigurieren
Hier wird der Sensortyp als Single, CrystalTwo, CrystalSix, Crystal12, Rotary
oder Dual Head definiert. Diese Parameter befinden sich auf der Hardware
Wahlfläche in der General Parameter Anzeige.
4b Quellen Konfigurieren
Hier wird der Bereich für den Digital / Analog Spannungswandler (DAC) und
Polung auf der Hardware Wahlfläche der General Parameter Anzeige gewählt.
Wenn eine Quelle mehr als einen Tiegel hat, wird dieses auf der Source-Quelle
Wahlfläche in der Film Parameter Anzeige eingegeben.
4c Kommunikation Konfigurieren
Hier werden die passende RS232 Baudrate und das Protokoll, sowie IP
Adresse und Net Mask für die optionale Ethernetschnittstelle in der Comm Info
Wahlfläche der General Parameter Anzeige eingegeben.
5 I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Konfigurieren
Die I/O Zuordnungen im XTC/3S sind fest. Im XTC/3M können Eingänge und
Ausgänge programmiert werden.
4.2 Übersicht der Film Parameter Zusammenstellung
Die Film Anzeige erscheint nach Betätigen der MENU Taste, dann den Cursor zu
“Film Parameter” bewegen und wieder Menu Taste betätigen.
Abbildung 4-1 Haupt Menu Anzeige XTC/3M
XTC/3M
Operate
Film Parameter
Process List
General Parameter
I/O Map
Diagnostics
Sensor
83.4
Å/S
428.3
KЕ
29.8
%