INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Abbildung 4-7 Time Constant Zeitkonstante
Ratenanstieg
DEAD TIME . . . . . . . . . . Totzeit...............................0.1 bis 100.0 s
Dieser Wert ist definiert als die Zeitdifferenz zwischen einer Änderung der
prozentualen Leistungsabgabe und der tatsächlichen Änderung der Aufdampfrate.
Der Standardwert ist 1,0.
Abbildung 4-8 Dead Time Totzeit
Leistung erhöht
MAXIMUM POWER . . . . Maximum Leistung...................0.0 bis 100.0%
Bestimmt die maximale % Leistung. Die Regelspannung wird diese Grenze nicht
überschreiten. Der Standardwert ist 100.0%.
DENSITY . . . . . . . . . . . . Dichte ..................................0.50 bis 99.99 gm/cc
Dieses ist ein materialspezifischer Parameter für das Material, welches auf den
Quarz aufgedampft wird. Dies ist einer von zwei Parametern, die sich auf die
Massenbeladung des Quarzes hinsichtlich der Schichtdicke beziehen. Der
Standardwert ist 1.00 gm/cc.
RATE INCREASE
63% POINT
TIME CONSTANT
TIME
R
A
T
E
P
O
W
E
R
RATE INCREASE
63% POINT
TIME CONSTANT
TIME
R
A
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E
R
Rate
Power
TIME
INCREASE POWER
RATE INCREASE
Control DT
R
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TIME
INCREASE POWER
RATE INCREASE
Control DT
R
A
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Rate
Power