INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
8. Schlechte Regelung
der Aufdampfrate.
a. Falsch ausgewählte
Regelschleifen-
parameter.
a. Siehe Information in der GA über
Einstellen der Regelparameter
b. Die Durchlauffrequenz
der Elektronenstrahlkanone
führt zu Schwebungen mit
der Messfrequenz
des Gerätes.
b. Die Durchlauffrequenz so
einstellen, dass sie nicht ein
Vielfaches der Messfrequenz des
Gerätes beträgt (4 Hz).
9. Power-An LED blinkt a. interne Hardware defekt a. an INFICON Service wenden
10. Crystal Fail - Die
Quarzausfallmeldung
ist immer an
a. XIU/Oszillator nicht
angeschlossen
a. Verbindungen zum
Sensor/Oszillator überprüfen.
b. Fehlfunktion von
XIU/Oszillator
b. Falls zur Hand, den
„verdächtigen“ XIU/Oszillator durch
einen bekanntermaßen
funktionsfähigen ersetzen; falls die
Meldung immer noch ausgegeben
wird, an INFICON Service wenden
c. Fehler in der Leitung
zwischen Durchführung
und XIU/Oszillator oder
zwischen Gerät und
XIU/Oszillator.
c. Mit einem Ohm-Meter oder
einem Digital-Multimeter die
entsprechenden Leitungen auf
Durchgang bzw. Isolation prüfen.
d. Schlechte elektrische
Kontaktierung in Wandler,
Durchführung oder der im
Vakuum befindlichen
Leitung.
d. Mit einem Ohm-Meter oder
einem Digital-Multimeter die
entsprechenden Leitungen auf
Durchgang bzw. Isolation prüfen.
e. Quarz ausgefallen oder
kein Quarz installiert.
e. Quarz ersetzten oder installieren
f. Zwei Quarze befinden
sich im Quarzhalter.
f. Einen der Quarze entfernen
g. Frequenz des Quarzes
außerhalb des zulässigen
Bereiches.
g. Prüfen, ob sich die
Quarzfrequenz innerhalb des
erforderlichen Bereiches befindet;
Quarze von INFICON verwenden..
h. Quarz ausgefallen
wegen S oder Q Fehler.
h. S & Q Werte auf Sensor Anzeige
löschen
Tabelle 6-1 Fehlersuche am Instrument (fortgesetzt)
SYMPTOM
URSACHE
BEHEBUNG