6 option, Film name – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Z-RATIO . . . . . . . . . . . . . Z-Verhältnis ..................................0.100 bis 9.999
Dieses ist ein materialspezifischer Parameter für das Material, welches
aufgedampft wird. Dies ist einer von zwei Parametern, die sich auf die
Massenbeladung des Quarzes hinsichtlich der Schichtdicke beziehen. Der
Standardwert ist 1.000. siehe
für Material Dichte und Z-ratio Werte.
4.2.6 Option
Abbildung 4-9 XTC/3M Option Film Programm Anzeige
TIME POWER . . . . . . . . Zeit-Leistung......................Yes-Ja / No-Nein
Eingabe über TOGL Taste. Standard ist No.
Time-Power Zeit-Leistung Status Übersicht:
Der Time-Power Status kann nur aktiv werden wenn das Gerät in der DEPOSIT
Phase ist oder in RATE RAMP und das Filmprogramm wurde auf "Vollenden in
Time-Power" nach einem Quarzausfall ohne Reservequarz gesetzt. Wenn ein
Quarzausfall während den Pre-Deposit Phasen erscheint, bleibt das Gerät stehen
und löst ein STOP aus auch wenn die "Vollenden in Time-Power" Zeit Leistung
(Yes) Option gewählt wurde.
Nach Eingang in den Time-Power Status verbleibt die Quellenleistung bei dem 4 s
Durchschnittswert der Leistung der 2 s vor dem Quarzausfall berechnet wurde.
(Diese Zeiten werden dementsprechend für PID Regelung angepasst.) Dicke wird
mit dem programmierten Sollwert für die RATE akkumuliert. Der Time-Power
Status endet wenn der FINAL THICKNESS-Enddicke Wert überschritten wird. Die
Post-Deposit Phasen werden genau so bearbeitet als ob eine normale
Beschichtung vorausging. Wenn die Post-Deposit Phasen vollendet sind, beendet
das Gerät die Schicht und zeigt STOP an. Eine Ratenrampe kann in Time-Power
nicht vollzogen werden und darum wird diese Phase übersprungen.
FILM NAME
| Film Number 1
|
Pre/Post |Time Power Yes
|
Deposit |Delay Option None
| Transfer Sensor No
Sensor | Transfer Tooling 100.0 %
| Control Delay Time 00:00 mm:ss
Source |
|Ion Assist Deposit No
Option
|
|Name FILM NAME
40.0
A/S
183.6
KA
0.0
%