INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 149)

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IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
5 Soak Time 2 0 - 5999 oder 00:00 - 99:59
6 Shutter Delay
Blendenverzögerung 0 bis 1
7 New Rate
Neue Rate 0.0 - 999.9
8 Rate Ramp Time
Ratenrampenzeit 0 - 5999 oder 00:00 - 99:59
9 Idle Ramp
Leerlauframpe 0 - 5999 oder 00:00 - 99:59
10 Idle Power
Leerlauf Leistung 0.0 - 100.0
11 Time Power
Zeit-Leistung 1 oder 0 oder 'Y' oder 'y' oder 'N' oder
'n'
12 Xtal Switch S
Quarzwechsel 0 - 9 (siehe XTC/2 GA Abschnitt 4.6)
13 Xtal Switch Q
Quarzwechsel 0 - 9 (siehe XTC/2 GA Abschnitt 4.6)
14 Tool Factor 1
Korrekturfaktor 10 - 500.0
15 Tool Factor 2
Korrekturfaktor 10 - 500.0
16 Deposition Rate
Aufdampfrate 0 - 999.9
17 Final Thickness
Enddicke 0.0 - 999.9
18 Thickness Spt
Dicke Sollwert 0.0 - 999.9
19 Density - Dichte 0.5 - 99.99
20 Z-Ratio 0.1 - 9.999
21 Sensor 1 - 2
22 Source - Quelle 1 - 2
23 Crucible - Tiegel 0 - 8
Tabelle 5-7 "XTC2" Parameter Satz
"XTC2"
PP
XTC/3 Parameter Bereich