INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 48)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
kontrolliert wird, bleibt die Anzeige voll sichtbar wenn ein Film läuft und wird voll
verdunkelt wenn kein Film läuft (z.B. wie in Ready oder Idle). Alle Tasten bleiben
aktiv. Um die Anzeige zu voller Helligkeit zurückzubringen ohne unabsichtlich
Parameter zu ändern, können Taste "Help" oder die linke oder rechte Pfeiltaste
betätigt werden.
3.3.1 Menu Anzeige
Betätigung der Menu Taste von jeder beliebiger Anzeige bringt die Menu Anzeige
zur Erscheinung.
Die Menu Anzeige erlaubt die Navigation zwischen allen anderen Anzeigen. Mit
Hilfe der Pfeil Auf und Ab Tasten kann durch die Liste der Anzeigen gesucht
werden um die gewünschte zu wählen. Betätigen der Menu Taste wenn der Cursor
auf dem gewünschten Anzeigetitel ist, bringt diese Anzeige zur Erscheinung.
Abbildung 3-3 Menu Anzeige XTC/3M
Wenn ein Passwort von der Gerätefrontplatte programmiert wurde um unerlaubte
Parametereingabe zu verhinderen, erscheint die "L Lock" Meldung auf dieser
Anzeige in der oben rechts Ecke. Wenn ein Passwort über die
Kommunikationsschnittstelle programmiert wurde, erscheint anstatt dessen die "R
Lock" Meldung. Um Parametereingabe zu ermöglichen, zuerst den Cursor zur
Lock Meldung bewegen (rechts neben "Sensor"), dann das Passwort eingeben
und die ENTER Taste betätigen. Wenn das korrekte Passwort eingegeben wurde,
wird die Lock Meldung gelöscht. Das Gerät kehrt zurück in den gesperrten Zustand
nachdem der Benutzer zur Operate Anzeige zurück geht.
XTC/3M
Operate
Film Parameter
Process List
General Parameter
I/O Map
Diagnostics
Sensor
83.4
Å/S
428.3
KЕ
29.8
%