INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 79)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
End Frequency Endfrequenz = xxxxxxxx.x Hz
Xtal Life Quarzleben = xx % (0 - 99)
Normal Completion Normale Beendigung oder
End On Time Power, Ende in Zeit-Leistung oder
End In Stop from (Stop Reason) Ende in Stop wegen (Ursache für Stop)
Stop Ursachen sind eine der folgenden:
Keyboard-Tastatur
Xtal Fail - Quarzversagen
Max Power - Max. Leistung
Hand Controller - Handfernbedienung
Communications -Kommunikation
Digital Input - Digitaleingang
Power Loss - Netzverlust
Rate Dev Fail - Ratenabweichungsfehler
Crystal Switch Fail - Quarzwechsel Fehler
HINWEIS: Zusätzlich - Wenn die Schicht die erste in einem Prozess ist, wird ein
Vorwort "Begin Prozess xxx" (xxx ist die Prozessnummer oder Namen
(nur XTC/3M), wenn ein Namen programmiert ist) ausgegeben. Wenn
die Schicht die letzte im Prozess ist, wird ein Nachwort "End Prozess"
ausgegeben. Die Datalog Information ist auch erhältlich durch den S19
Kommunikationsbefehl,
"Standard" STATUS Befehle, siehe Abschnitt
5.2.2.5 auf Seite 5-27 .
3.6.15 TCP/IP
Die optionale TCP/IP Schnittstelle liefert alle Befehle die durch die Standard
RS232 Schnittstelle erhältlich sind. Die Schnittstelle verwendet eine statische
Adresse die vom Benutzer über die Frontplatte eingegeben wird, siehe
Abschnitt
4.4.3.1 auf Seite 4-24 . DHCP ist nicht unterstützt.