INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
1
Sicherstellen, dass das Gerät bereit ist (READY oder IDLE). Wenn nicht, STOP
und dann RESET drücken.
2
START drücken. Falls keine Konfigurationsfehler vorliegen, geht die erste
Schicht in ihre Vorlaufphase, gefolgt von der Aufdampfphase, und schließlich
von der Nachlaufphase.
3
Nachdem die erste Schicht aufgedampft wurde, geht diese in den
Leerlaufzustand (IDLE). Wenn "AutoStart Next Layer" (nur XTC/3M) auf Yes in
der Prozess Wahlfläche in der General Parameter Anzeige gesetzt wurde,
fängt der nächste Layer, falls es einen gibt, automatisch an. Wenn nicht, die
START Taste drücken um die nächste Schicht zu beginnen. Dieses
wiederholen bis der Prozess vollständig abgelaufen ist.
4
Falls es zu einem bestimmten Zeitpunkt erforderlich ist, den Prozess
anzuhalten oder abzubrechen, ist es nur nötig, die STOP Taste zu drücken. Die
Sensor- und Quellenblenden werden geschlossen, die Regelspannung wird
auf Null gesetzt und die Anzeige friert ein. Durch Drücken der START Taste
kann der Prozess an der Stelle wieder fortgesetzt werden, an der dieser
unterbrochen wurde (die Vorlaufphasen werden dann wiederholt). Um den
Vorgang insgesamt abzubrechen, muss nur die RESET Taste betätigt werden.
5
Während ein Prozess läuft, kann ein kritischer Fehler auftreten. Zum Beispiel
kann ein einzelner Sensor im Falle eines Einfachsensors während der
Vorlaufphase ausfallen. Das XTC/3 wird automatisch stoppen, oder in
Time-Power /Zeit-Leistung gehen (wenn der Quarz während der Deposit
Phase ausfällt und Time-Power Option auf Yes gesetzt war) wenn ein kritischer
Fehler auftritt. Unter der Annahme, dass die Ursachen, die zum Auftreten des
kritischen Fehlers führten, behoben wurden, kann der Prozess durch drücken
der START Taste an der Stelle fortgesetzt werden, an der dieser unterbrochen
wurde. Drücken von RESET bricht den Durchlauf ganz ab.