Appendix a materialtabelle, Appendix a – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Appendix A
Materialtabelle
WARNUNG
Manche dieser Materiale sind toxisch. Bitte beachten Sie
die zutreffenden Sicherheitsinformationen bevor Sie ein
Material benutzen.
Die Materiale, für die kein Z-Wert eingerichtet wurde, sind mit * gekennzeichnet.
Für diese Materiale ist der Z-Wert standardmäßig auf 1.000 gesetzt.
Tabelle A-1 Materialtabelle
Formel Dichte
Z-Ratio
Materialbezeichnung
Ag
10.500
0.529
Silber
AgBr
6.470
1.180
Silberbromid
AgCl
5.560
1.320
Silberchlorid
Al
2.700
1.080
Aluminium
Al
2
O
3
3.970
0.336
Aluminiumoxid
Al
4
C
3
2.360
*1.000
Aluminiumkarbid
AIF
3
3.070
*1.000
Aluminiumfluorid
AIN
3.260
*1.000
Aluminiumnitrit
AlSb
4.360
0.743
Aluminiumantimonit
As
5.730
0.966
Arsen
As
2
Se
3
4.750
*1.000
Arsenselenid
Au
19.300
0.381
Gold
B
2.370
0.389
Boron
B
2
0
3
1.820
*1.000
Boroxid
B
4
C
2.370
*1.000
Borkarbid
BN
1.860
*1.000
Boritrid
Ba
3.500
2.100
Barium
BaF
2
4.886
0.793
Bariumfluorid
BaN
2
O
6
3.244
1.261
Bariumnitrat
BaO
5.720
*1.000
Bariumoxid
BaTiO
3
5.999
0.464
Bariumtitanat (Tetr)
BaTiO
3
6.035
0.412
Bariumtitanat (Kubisch)