INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 7)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
3.3.6 I/O Map (Input/Eingang-Output/Ausgang) Anzeige . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
3.3.7 Diagnostics/Diagnostik Anzeige . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
3.3.8 Sensor Anzeige . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
3.4 Durchführung eines Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13
3.5 Status Beschreibungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-17
3.5.1 Alarme und Stops . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23
3.5.1.1 Alarme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
3.5.1.2 Stops . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
3.5.1.3 Wiederherstellung nach "STOPS" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.6 Besondere Eigenschaften . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.6.1 Einen Prozess Automatisieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.6.2 Ion Assisted Deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.6.3 Control Delay- Regelverzögerung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
3.6.4 Shutter Delay- Blendenverzögerung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
3.6.5 Aufdampfratenrampentrigger für die endgültige Schichtdicke . . . . . . . . . . 3-26
3.6.6 Transfer Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
3.6.7 Crucible Switching-Tiegel Wechsel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27
3.6.7.1 Bin Modus. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27
3.6.7.2 BCD Modus (nur XTC/3M) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27
3.6.8 Quarzwechsel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27
3.6.8.1 CrystalTwo . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-28
3.6.8.2 CrystalSix . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29
3.6.8.3 Crystal12 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29
3.6.8.4 Rotary Sensor (RSH Sensor) Quarzwechsel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30
3.6.8.5 Dual Head-Doppelsensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-31
3.6.8.6 XTC/3S Sensorblende / CrystalSwitch Ausgang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-31
3.6.9 Konfiguration für "Start Without Backup" Start Ohne Backup . . . . . . . . . . 3-32
3.6.10 RateWatcher. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
3.6.11 Steuerung mit Handfernbedienung (Option). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-33
3.6.12 Lock Code/Passwort. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34
3.6.13 Parameter Löschen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34
3.6.14 Datalog Datenaufzeichnung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34
3.6.15 TCP/IP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-35
Kapitel 4
Parametereingabe
4.1 Übersicht zur Programmierung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.2 Übersicht der Film Parameter Zusammenstellung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.2.1 Film Definition. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
4.2.2 Pre/Post Deposition Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4