INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 77)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Zweitens muss die RW Hold-Haltezeit programmiert werden, siehe RW HOLD-
RW Haltezeit 00:00 bis 99:59 min:s auf Seite 4-7 . Das ist die Zeitspanne zwischen
Beendung der letzten Abtastperiode (oder Erreichung der Ratenregelung) und
dem Beginn der nächsten Abtastperiode. Der Prozess Ingenieur kann die
Zeitspanne bis auf ein Maximum von 99:59 mm:ss für automatischen Betrieb
setzten. Wenn längere Zeitspannen notwendig sind, können die "RW Sampl Init"
"RW Abtasten Beginnen" und "RW Sampl Inhib" / "RW Abtasten Verhindern"
Eingänge am SYSTEM I/O Stecker verwendet werden. Während der "RateWatch
Hold" Periode wird die Dicke mit dem Ratensollwert akkumuliert, und die Leistung
wird auf dem intern berechneten Time-Power Zeit-Leistung Wert gehalten. Am
Ende der "RateWatch Hold" Periode, wird "RateWatch Delay" für fünf Sekunden
angezeigt bevor die "RateWatch Sample" Meldung erscheint. Während der
"RateWatch Sample" Periode wird die Leistung nach den Regelschleife
Parametern angepasst.
Eingabe von einer HOLD TIME von 00:00 setzt die RateWatcher Funktion außer
Kraft.
HINWEIS: Im XTC/3S ist die RateWatcher Funktion außer Kraft wenn der
Sensortyp als Multi-position oder Dual Head Doppel- Sensor
konfiguriert ist.
3.6.11 Steuerung mit Handfernbedienung (Option)
Eine verkabelte Hand-Fernbedienung ist als Option erhältlich. Diese dient zur
manuellen Einstellung der Leistungsabgabe, zur Quarzumschaltung und um einen
STOP Befehl auszulösen. Die Fernbedienung wird über einen modularen Stecker
mit Spiralkabel auf der Gerätevorderseite eingesteckt. Der POWER/STOP
Schalter an der Spitze der Bedienung ist asymmetrisch damit die Richtung für
Leistungserhöhung und Verringerung leicht erkennbar ist.
Wenn das Gerät über die MPWR Taste in die Betriebsart "Manual Power" gesetzt
wurde, wird die Leistungsabgabe durch seitliches Schieben des Schalters
POWER/STOP beeinflusst . Ein STOP Befehl wird durch Drücken des
POWER/STOP Schalters ausgelöst.
Quarzwechsel wird mit der roten Taste auf dem Bedienungsgehäuse ausgelöst.
Diese Taste wechselt den aktiven Quarz eines Doppelsensors oder bewegt den
Multi-position Sensor zum nächsten Quarz.
HINWEIS: Beim Verlassen des MANUAL POWER Status geht das Gerät in den
DEPOSIT Status. Die Aufdampfung wird beendet wenn der Wert des
Final Thickness-Enddicke Parameter überschritten wird.
Mit der Fernbedienung wird ein Aufhängehaken mitgeliefert, so dass die
Fernbedienung an den „Montageohren“ oder einem anderen leicht zugänglichen
Ort eingehängt werden kann.