INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
6. Schlechte
Schichtdickenreproduzier-
barkeit.
a. Schwankende
Flussverteilung von
der Aufdampfquelle.
a. Den Sensor besser
anordnen, so dass er besser
bedampft wird; relative Höhe
der Schmelze konstanthalten,
um Tunnelungeffekte zu
vermeiden.
b. Seit dem letzten
Aufdampfvorgang ist die
Durchlauffrequenz, deren
Schwankungsbereich oder
die Position, wo der
Elektronenstrahl die
Schmelze trifft, geändert
worden.
b. Konsistente
Aufdampfquellenverteilung
einhalten, indem die
Einstellungen für die
Durchlauffrequenzen, die
Durchlaufamplitude und die
Elektronenstrahlposition
unverändert gelassen werden.
c. Material haftet nicht am
Quarz.
c. Sicherstellen, dass die
Oberfläche des Quarzes
sauber ist. Den Quarz nicht mit
den Fingern anfassen. Eine
eingefügte Adhäsionsschicht
benutzen.
d. Zyklische
Aufdampfratenänderung.
d. Sicherstellen, dass die
Durchlauffrequenz für die
Aufdampfquelle nicht zu
Schwebungen mit der
Messfrequenz des Gerätes
(4 Hz) führt.
7. Große Schichtdickendrift
(über 200 Å bei einer Dichte
von 5,00 g/cm3) nach
Beendigung des
Sputtervorgang.
a. Erwärmung des Quarzes
wegen schlechten
thermischen Kontakts
a. Die Quarzfläche die am
Quarzhalter aufliegt säubern
oder polieren
b. Ein externes Magnetfeld
beeinflusst das Magnetfeld
des Sensors (Nur
Sputtersensor).
b. Den Sensormagneten unter
Berücksichtigung des externen
Magnetfeldes ausrichten.
Siehe hierzu die
Bedienungsanleitung zum
Sensor (CD IPN 074-5000)
c. Sensormagnet gerissen
oder entmagnetisiert
(Sputtersensor).
c. Stärke des
Sensormagnetfeldes
überprüfen. Die maximale
Feldstärke in der Mitte der
Öffnung sollte 700 Gauß oder
mehr betragen
Tabelle 6-2 Sensor Fehlersuche und Diagnosis (fortgesetzt)
SYMPTOM
URSACHE
BEHEBUNG