INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 96)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
4.3 Übersicht der Prozessaufstellung (nur XTC/3M)
Abbildung 4-10 Haupt Menu Anzeige
Im XTC/3M erscheint die Prozess Anzeige nachdem die MENU Taste betätigt
wurde, dann mit den Pfeiltasten auf den “Prozess Liste” Titel gehen und die Menu
Taste wieder betätigen. Im XTC/3S ist die "Prozess Liste" Option nicht vorhanden.
Das XTC/3M kann bis zu 99 vorprogrammierte Prozesse haben. Jeder Prozess
kann eine Liste bis zu 999 Layers-Schichten haben, die nacheinander ausgeführt
werden. Ein Prozess kann mit bis zu 15 alphanumerischen Zeichen benennt
werden. Jeder der 99 Prozesse kann in beliebiger Reihenfolge programmiert oder
gelöscht werden (d.h., Prozess 5 kann programmiert werden obwohl Prozess 4
leer ist).
Um einen Film zu löschen, den Cursor zu dem Film in der Prozessliste bewegen,
die 0 Taste und dann die Enter Taste betätigen. Die einzige Begrenzung ist dass
"Prozess to Run" in der Prozesswahlfläche in der General Anzeige nicht leer sein
darf, siehe
Abbildung 4-13 auf Seite 4-19 .
Wenn die Blockierung aktiv ist, erscheint die "L Lock" oder "R Lock" Meldung in der
oben rechts Ecke. Die Prozessliste wird gezeigt aber kann nicht verändert werden.
Im Lock Zustand kann die Prozessnummer noch verändert werden so dass andere
Prozesse sehbar sind
Die Pfeil links und rechts Tasten bewegen den Cursor zwischen der Wahltafel und
der Parametertafel.
XTC/3M
Operate
Film Parameter
Process List
General Parameter
I/O Map
Diagnostics
Sensor
83.4
Å/S
428.3
KЕ
29.8
%