INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
Seite 167
6 - 7
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
grau unterlegten Funktionsbeschreibungen, damit zeigend dass diese Inaktiv
sind, z.B. Ausgänge wie Advance Crucible 1 und Advance Crucible 2 in dem
Abbildung 6-2
Beispiel oben.
Active XIU Test
Um die XIU (Oszillator) Prüfung durchzuführen, zuerst das XIU BNC Kabel nur
an der Sensor Durchführung abnehmen, dann den Cursor auf Active XIU Test
bringen und die TOGL Taste drücken. Die XIU Prüfung ermittelt ob Crystal
Interface Unit (XIU), Verbindungskabel und Messschaltkreis für den aktiven
Sensor korrekt arbeiten.
HINWEIS: Damit die XIU Prüfung korrekt arbeitet, muss an das XIU das 6"
(150 mm) BNC Kabel (IPN 755-257-G6) oder das 20" (500mm) BNC
Kabel (IPN 755-257-G20) angeschlossen sein und das andere
Kabelende muss von der Sensor Durchführung abgenommen sein.
RS-232 Loopback
Um die RS-232C COMM PORT Prüfung auszuführen den gelieferten
Prüfstecker am RS-232 Gerätstecker einstecken, den Cursor auf RS-232
Loopback bringen und die TOGL Taste drücken. Nach der Prüfung erscheint
die entsprechende Nachricht die angibt ob die Prüfung erfolgreich, COMM
PORT IS OKAY war; oder ob die Prüfung versagte und das COMM PORT
defekt ist.
HINWEIS: Der RS-232C Loop Back Stecker, IPN 760-406-P1 muss am XTC/3
RS-232C Port eingesteckt werden um die Prüfung erfolgreich zu
vollziehen.